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光刻靶通常采用对称设计，以减少因受力不均而导致的变形。对称设计可以使光刻靶在受到外力作用时能够均匀分布应力，降低因应力集中而产生的变形和裂纹。其次，光刻靶的支撑结构也经过设计。支撑结构不仅需要具有足够的强度和稳定性，靶标光刻厂商，还需要考虑其对光刻过程的影响。通过优化支撑结构的设计，可以减少因支撑结构引起的振动和干扰，提高光刻过程的稳定性。
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